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RGA 系列残余气体分析仪

简要描述:RGA 系列残余气体分析仪

SRS 的 100、200 和 300 amu 残余气体分析仪提供卓*的性能和价值。这些 RGA 提供真空系统的详细气体分析,价格仅为竞争型号的一半。每个 RGA 系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元 (ECU) 和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时 Windows 软件包。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-07-14
  • 访  问  量: 622

详细介绍

品牌其他品牌应用领域化工,地矿,能源,航天,电气

RGA 系列残余气体分析仪

SRS 的 100、200 和 300 amu 残余气体分析仪提供卓*的性能和价值。这些 RGA 提供真空系统的详细气体分析,价格仅为竞争型号的一半。每个 RGA 系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元 (ECU) 和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时 Windows 软件包。

坚固的探头设计

电子倍增器

探头由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计具有少量零件,可*大限度地减少放气并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用,可安装在标准2 ¾ 英寸CF 法兰上。它被不锈钢管覆盖,但离子发生器除外,它在您的真空系统中只需要 2 ½ 英寸的间隙——大约是标准离子计的间隙。探头采用自对准部件设计,因此可以在清洁后轻松重新组装。

紧凑型电子控制单元

密集封装的 ECU 包含用于控制 RGA 头的所有必要电子设备。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 电源或插入交流电源插座的可选内置电源模块供电。LED 指示灯提供有关电子倍增器、灯丝、电子系统和探头状态的即时反馈。ECU 可以很容易地从探头上拆下,以进行高温烘烤。

*特的灯丝设计

长寿命的双钍铱 (ThO 2 /Ir) 灯丝用于电子发射。双 ThO 2 /Ir灯丝的使用寿命比单灯丝长得多,从而*大限度地延长了灯丝更换之间的时间。与其他设计不同,SRS 灯丝可以在几分钟内由用户更换。

双钍铱丝

电子倍增器

法拉第杯探测器是 SRS RGA 系统的标准配置,可以测量10 -5到 5 × 10 -11  Torr的分压。为了提高灵敏度和更快的扫描速率,提供了一个可选的电子倍增器,可检测低至5 × 10 -14  Torr的分压。这种**的宏多通道连续打拿极电子倍增器 (CDEM) 提供更长的寿命和稳定性,并且也可以由用户更换 - 这是 RGA 的开创!

加热套

O100HJRW 加热器护套配有 Watlow EHG SL10 过程控制器,可提供 210 °C (±3 °C) 的预编程温度。加热器护套采用 PTFE (Teflon) 结构制成,由于其低释气和无颗粒操作,适用于洁净室应用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本,并随附目的地国家/地区的电源线。

加热套

有用的功能

所有 RGA 都具有内置的脱气功能。使用电子冲击解吸,*底清洁离子源,大大降低了离子发生器对背景噪声的影响。

固件驱动的灯丝保护功能持续监控(675 Hz)过压。如果检测到过压,灯丝会立即关闭,以保持其使用寿命。

*特的温度补偿对数静电计在单次扫描中检测10 -7至 10 -15 安培的离子电流,精度优于 2%。这个巨大的动态范围意味着您可以同时测量小气体浓度和大气体浓度。

*全可编程性

通过RS-232接口与计算机进行通信。模拟和直方图(条形图)扫描、泄漏检测和探头参数都通过上等命令集进行控制和监控。这允许轻松集成到现有程序中。

RGA 视窗软件

压力与时间模式

RGA 系统由在 PC 上运行的实时 Windows 软件包提供支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。该程序是*全交互式的,使用户可以*全控制图形显示。可拆分屏幕进行双模式操作,刻度可设置为线性或对数格式,数据可手动或自动缩放。实时捕获和显示数据,或计划在给定的时间间隔内采集数据,以进行长期数据记录。功能包括用户可选择的单位(Torr、mbar、Pa 和 A)、可编程的音频和视觉警报以及全*的在线帮助。

该软件还允许通过简单的质量标度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整实现完整的 RGA 磁头控制。为了进一步分析,可以将数据文件保存为 ASCII 格式,以便轻松传输到电子表格中。图形图像可以保存为 META 文件或复制到剪贴板以直接导入其他 Windows 程序。该软件还为锁定头部参数提供密码保护,使临时用户无法更改重要设置。SRS 网站上还提供了 LabVIEW 驱动程序。

图书馆模式

可选的独立监视器 (PPM100) 可用于在没有主机的情况下控制 RGA。

多头操作

当需要多个 RGA 时,该软件支持多头操作。该软件*多可监控 8 个 ECU。

性能和价值

SRS 系列 RGA 非常适合涉及气体分析、泄漏检测和真空处理的应用。我们提供 100、200 和 300 amu 系统,支持 Windows 软件和选项,包括电子倍增器和用于交流线路操作的内置电源模块。




RGA 系列规格

操作

质量范围
   RGA1001 到 100 amu
   RGA2001 到 200 amu
   RGA3001 至 300 amu
质量过滤器类型四极杆
探测器类型法拉第杯 - 标准。
电子倍增器 - 选择。
解析度优于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根据 AVS 标准 2.3)。在整个质量范围内可调至恒定峰宽。
灵敏度 (A/Torr)2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用户可在整个高压范围内调节。用 N 2  @ 28 amu 测量,1 amu 全峰宽、10 % 高度、70 eV 电子能量、12 eV 离子能量和 1 mA 电子发射电流。
分钟。可检测分
   压
5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2  @ 28 amu 测量,1 amu 全峰宽、10 % 高度、70 eV 电子能量、12 eV 离子能量和 1 mA 电子发射电流。
运营压力10 -4  Torr 到 UHV (FC)
10 -6  Torr 到 UHV (EM)
*大限度。工作温度70℃
烘烤温度300 °C(不带 ECU)

离子发生器

设计开放式离子源,圆柱对称,电子碰撞电离。
材料SS304 结构
灯丝具有固件保护的钍铱(双)。内置1 至 10 W脱气加速。现场可更换。
电子能量25 至 105 V,可编程
离子能量8 或 12 V,可编程
聚焦电压0 至 150 V,可编程
电子发射电流0 至 3.5 mA,可编程

一般的

探头尺寸8.75" 从法兰面到离子发生器顶部
探头插入2.0"
探头安装法兰2.75" CF
*小管内径1.375"
ECU尺寸9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可轻松与探头分离以进行烘烤。
LED指示灯电源开/关、灯丝开/关、脱气开/关、电子倍增器开/关、RS-232 忙、错误、过压、灯丝烧毁。
热身时间30 分钟后质量稳定性 ±0.1 amu
电脑接口RS-232C,28,800 波特,带上等命令集
软件基于 Windows 的应用程序
电力需求24 VDC @ 2.5 安培。
可选的内置 VAC 适配器。
重量

6 磅

RGA 系列残余气体分析仪



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