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PPR系列过程检测系统

简要描述:PPR系列过程检测系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪(RGA):一路高压进气模式用来检测基本真空,一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径,其目的是使运行压力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待测压力环境满足RGA的工作要求约10-6 Torr。 这种压力控制系统是由涡轮分子的混合泵和隔膜甭组成。

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-07-14
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详细介绍

品牌其他品牌应用领域医疗卫生,化工,生物产业,能源,综合

 PPR系列过程检测系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪(RGA):一路高压进气模式用来检测基本真空,一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径,其目的是使运行压力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待测压力环境满足RGA的工作要求约10-6 Torr。 这种压力控制系统是由涡轮分子的混合泵和隔膜甭组成。 两台泵为无油工作,不会污染您的操作系统。
PPR进气接口链接到被检测的过程检测系统有几种方法。 该系统包括RGA,旁通阀和三通,控制器,涡轮泵,隔膜泵,和Windows 软件程序进行数据采集和控制。
该软件可用于多种模式,包括模拟扫描,直方图模式,压力与时间模式。双路法拉第杯和电子倍增器检测器,电子倍增器提供更高的灵敏度和较高的扫描速度。PPR系统出厂时组装*全
和校准,可便捷的连接到真空系统中。
主要应用:真空在线检测;高真空成份分析;MOCVD 等在线过程监控;10mTorr-10Torr 真空度内反应过程检测等等

主要性能

  • 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr进口压力

  • 3 × 10-5 Torr-L/s流量

  • 2秒的响应时间(0.1Torr)

  • 100、200或300amu系统

  • 现场可替换的电子培增管和灯丝

  • 6个数量级动态范围

 PPR系列过程检测系统

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