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CIS 系列封闭式离子源分析仪

简要描述:CIS 系列封闭式离子源分析仪 凭借优于 1 ppm 的检测限、在 mTorr 压力下直接采样以及用户友好的 Windows 软件包,CIS 系统将满足您*苛刻的应用。在线过程监测和控制、在使用点验证过程气体纯度、高真空残余气体分析和过程设备泄漏检查是这些系统*不可少的一些领域。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-07-14
  • 访  问  量: 310

详细介绍

品牌其他品牌应用领域医疗卫生,化工,生物产业,能源,综合

CIS 系列封闭式离子源分析仪

凭借优于 1 ppm 的检测限、在 mTorr 压力下直接采样以及用户友好的 Windows 软件包,CIS 系统将满足您*苛刻的应用。在线过程监测和控制、在使用点验证过程气体纯度、高真空残余气体分析和过程设备泄漏检查是这些系统*不可少的一些领域。

紧凑型设计

镀金离子发生器

该探头由一个四极质谱仪和一个安装在 2.75" Conflat ®  Tee 内的 CIS 离子发生器组成。控制单元直接安装在探头的馈通法兰上,并包含操作仪器所需的所有电子设备。CIS 接头的侧面端口提供用于将四极杆、灯丝和检测器保持在高真空状态的差动泵系统连接。该系统可以通过其标准 CIS 安装法兰 (2.75" CF) 直接连接到工艺室。该装置是自对准的,具有简单、坚固的设计。您可以清洁和重新组装探头,并在现场更换灯丝和电子倍增器,而无需致电工厂。

镀金离子发生器

整个离子发生器由镀金不锈钢制成。这减少了电离区域中的除气和背景信号,提高了长期稳定性,并允许在暴露于反应性和腐蚀性气体时进行操作。使用钨丝,可抵抗 WF 6和硅烷等腐蚀性和反应性气体,并延长使用寿命。电离器的封闭(气密)设计可防止常见的干扰物质回流到电离体积中。这会产生没有光谱重叠的峰。

探测器的选择

CIS 系列分析仪标配法拉第杯检测器(10 ppm 检测)和连续打拿极电子倍增器(1 ppm 检测)。该软件允许您在检测器之间轻松切换。

电子倍增器

多功能性

CIS 系统也可以用于所谓的“RGA 模式"。在这种模式下,装置具有较低的*小可检测分压,但也具有较低的*大工作压力。例如,RGA 模式用于溅射工艺的**阶段,此时腔室被抽空至低压,并检查真空质量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以将装置切换到 CIS 模式,以便在较高压力下直接采样。

*全可编程性

提供标准 RS-232 接口以及完整的编程参考。可以控制和监控所有探头参数,并且可以获取数据以用于自定义应用程序。

视窗软件

模拟模式

CIS 系统由在 PC 上运行的实时 Windows 软件包提供支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。该程序是*全交互式的,使用户可以*全控制图形显示。可拆分屏幕进行双模式操作,刻度可设置为线性或对数格式,数据可手动或自动缩放。实时捕获和显示数据,或按给定时间间隔计划采集数据,以进行长期数据记录。功能包括用户可选择的单位(ppm、Torr、mbar、Pa 和 A)、可编程的音频和视频警报以及全*的在线帮助。该软件允许通过简单的质量标度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整实现完整的 CIS 磁头控制。为了进一步分析,数据文件可以以 ASCII 格式保存,以便于传输到电子表格中。图形图像可以保存为 META 文件或复制到剪贴板以导入其他 Windows 程序。该软件还为锁定头部参数提供密码保护,使临时用户无法更改重要设置。

可选的独立监视器 ( PPM100 ) 可用于在没有主机的情况下控制 RGA。

压力与时间

多头操作

当需要多个 CIS 时,该软件支持多头操作。该软件*多可监控 8 个 ECU。

泵送要求

CIS 仪器需要连接到有效抽速至少为 40 L/s 且基础压力低于10 -9  Torr的抽吸系统。连接端口是一个 2.75" Conflat ® 法兰。选项 O100TDP 提供一个涡轮泵,它与隔膜低真空泵一起直接安装到 CIS 泵头上。订购此选项时,整个分析仪都在工厂组装、测试和校准。用户可以提供自己的泵站;但是,用户有责任确保泵系统不会损坏或限制仪器的性能。

经济实惠的性能

图书馆模式

SRS CIS 系统以竞争模型的一小部分成本提供*先进的性能。标准系统包括法拉第杯探测器、电子倍增器探测器和 Windows 软件。选项包括用于交流线路操作的内置电源模块,以及包括涡轮分子泵和隔膜泵的泵送套件。


独联体尺寸图





独联体参数范围独联体模式RGA模式
电子发射电流 (mA)0到10.050.5
电子能量 (eV)25 至 10570 或 3570
离子能量 (eV)4 或 84 或 84 或 8
提取电压 (V)0 到 -150-50(典型值)-50(典型值)
灵敏度 (A/Torr)
(对于 N 2 @28 amu)

10 -610 -5
线性范围上限 (Torr)
2×10 -310 -4
MDPP (托)
10 -810 -9

笔记


1. CIS 测试使用 70 L/s 混合涡轮分子泵进行,由隔膜泵支持,连接到 CIS Cover Tee 的侧端口。2. 报告的 RGA 模式灵敏度是针对低于 10 -5  Torr的 N 2
计算得出的。 3. CIS 模式灵敏度是针对 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下计算的。4. MDPP(*小可检测分压)通过在 10 -5(RGA 模式)和 10 -3存在28 N 2 的情况下测量法拉第杯检测的基线水平来确定

 托(CIS 模式)。当电子倍增器打开时,可检测性可提高多达 3 个数量级。


CIS 系列规格

操作

质量范围
     CIS1001 到 100 amu
     CIS2001 到 200 amu
     CIS3001 至 300 amu
质量过滤器类型四极杆
探测器类型法拉第杯和电子倍增器
解析度优于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根据 AVS 标准 2.3)在整个质量范围内可调至恒定峰宽。
*大限度。工作温度70℃
烘烤温度300 °C(不带 ECU)

离子发生器

设计封闭离子源,圆柱对称,电子碰撞电离
材料镀金 SS304
灯丝钨或 ThO 2 /Ir 带固件保护(现场可更换)
电子能量 25 至 105 eV,可编程
离子能量4 或 8 eV,可编程
聚焦电压0 至 150 V,可编程
电子发射电流0 至 1 mA,可编程

一般的

探头安装法兰2.75" CF
ECU尺寸4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL)。可轻松与探头分离以进行烘烤。
LED指示灯电源开/关、灯丝开/关、电子倍增器开/关、RS-232忙、错误、过压、灯丝烧毁
热身时间3 分钟后峰高 ±2 %。30 分钟后质量稳定性 ±0.1 amu。
电脑接口RS-232C,28,800 波特,带上等命令集
软件基于 Windows 的应用程序
电力需求24 VDC @ 2.5 安培。公头 DB9 连接器,可选内置电源模块,用于交流线路操作
重量6 磅。
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